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產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品名稱: 英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-04-15
產(chǎn)品型號(hào): STP-XA3203C STP-XA4503C
產(chǎn)品特點(diǎn): STP-XA3203C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能,并提高所有氣體的吞吐量。
此泵基于新的平臺(tái)設(shè)計(jì),提供各種功能以改善熱管理,從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修 的詳細(xì)介紹

英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子泵STP-XA3203C、STPXA4503C ISO320F

 

概述

STP-XA3203C 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內(nèi)提供高性能,并提高所有氣體的吞吐量。 

此泵基于新的平臺(tái)設(shè)計(jì),提供各種功能以改善熱管理,從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。

其出色的性能既適用于溫和的應(yīng)用環(huán)境,也適用于嚴(yán)苛的環(huán)境,例如半導(dǎo)體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

應(yīng)用

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送端點(diǎn)站
  • MBE
  • 擴(kuò)散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長(zhǎng)
  • 晶片檢查
  • 負(fù)載鎖真空腔
  • 科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理:射束線、加速器
  • 放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋

 

功能和優(yōu)勢(shì)

良好的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)  

  • 增強(qiáng)的 H2、N2 和 Ar 性能

  • 改進(jìn)了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內(nèi)的性能

  • 免維護(hù)

5 軸磁懸浮系統(tǒng)  

  • 無(wú)污染

  • 低振動(dòng)

創(chuàng)新性轉(zhuǎn)矩管理  

  • 獲得轉(zhuǎn)矩減少機(jī)械裝置

優(yōu)化的溫度管理系統(tǒng)  

  • 高溫 TMS 能力

  • 低沉積

  • 內(nèi)置冷卻機(jī)械裝置

  • 更高的氣體吞吐量(加熱和未加熱)

  • 延長(zhǎng)壽命

  • 可用于嚴(yán)苛制程英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修

認(rèn)證  

  • 符合 SEMI®,具有 CE 標(biāo)記,列于 UL 中

 

技術(shù)數(shù)據(jù)

入口法蘭ISO320F
抽速 
  N23200 ls-1
  H22300 ls-1
壓縮比 
  N2>108
  H2>6 x 103
極限壓力10-7 Pa
大允許前級(jí)壓力266 Pa
大允許氣體流量 
N2(水冷卻)2300 sccm
 (3.8 Pam3s-1)
Ar(水冷卻)1900 sccm
 (3.2 Pam3s-1)
額定速度27500 rpm
啟動(dòng)時(shí)間8 min
固定位置任何方向
水冷卻 
流量3 lmin-1
溫度5-25 °C (41-77 °F)
壓力0.3 MPa
推薦的吹掃氣體流量50 sccm
 (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
輸入電壓200 至 240 (± 10) V 交流
功耗1.5 kVA
泵重量80 kg (176 lb)
控制器重量12 kg (26.4 lb)

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荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長(zhǎng)春吉林英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA4503C保養(yǎng)、STP-XA3203C維修

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    一、進(jìn)口真空泵維修:
    1、BOC EDWARDS(愛(ài)德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
    2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
    3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
    4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
    5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
    6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
    7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
    8、RIETSCHLE(里其樂(lè)):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
    9、ULVAC(愛(ài)發(fā)科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
    10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
    11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
    12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

    二、進(jìn)口真空泵配件銷售:
    1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過(guò)濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
    2、品牌:BOC EDWARDS(愛(ài)德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂(lè))、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

    三、進(jìn)口真空油銷售:
    品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

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