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G-TRAN系列　SAU壓力傳感器單元

大氣壓近旁(離子規(guī)壓力：-100kPa～10kPa）可以進行高精度測量的采用半導體型薄膜素子的壓力傳感器單元。為了可以對應高真空條件下的連續(xù)運轉的材質，采用了SUS316L。

特點

愛發(fā)科真空計G-TRAN系列SAU 壓力傳感器單元?

• 理想大氣壓的確認 　
  壓力基準是使用離子規(guī)對應，可以進行高精度大氣壓測量
• 為了對應高真空的連續(xù)使用
  采用了半導體型薄膜素子（SUS316L），可以對應高真空連續(xù)使用
• 測定值輸出信 　
  壓力在標準裝備下輸出DC 0～5V的Log
• 驅動電源 　
  對應范圍廣DC12～24V
• 弧齒耦合器相互對應
  端口，采用NW16

用途

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• 以太陽能電池，FPD，半導體，電子部品為主的各種高真空裝置的大氣壓確認用
• 以真空爐為主的各種產業(yè)用真空裝置的大氣壓確認用
• 離子規(guī)壓力：-100kPa～10kPa（壓力：10⁺⁴～10⁺⁵Pa）情況下高精度測量真空裝置用

規(guī)格

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